真空度:高真空

漏率: 1E-9 mbar l/s, He

使用壽命: 100萬(wàn)次(依制程而有些許改變)

鋁合金或SUS閥體可供選擇。波紋管密封和無(wú)波紋管。

應(yīng)用于真空環(huán)境，傳輸物品之閘門

特色

- L-Motion，不同于單軸單向的閘板閥，作動(dòng)采用

特殊開關(guān)方式，L-Motion Lock 可將閥門關(guān)閉位置固定。

- 方便安裝與維修

- 閘板更換成本較低

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